产品应用： |
I/V、C/V、RF、mmW测试、LoadPull测试
纳米级电子器件测试，微机电测试
光电器件测试
芯片线路切割
高功率器件测试 |
产品特点： |
1. 全功能的亚微米级分析测试探针台系统。
2. 花岗岩底座，满足亚微米级测试的精度和稳定性要求。 |
产品参数：请联系销售工程以获得完整的产品资料：wilson@perfictlab.com |
载物台及基座 |
载物台：6~12”可选。
X-Y轴移动行程：6~12”，精度：1μm，移动行程根据载物台的尺寸确定。
Z轴细调：13mm，快升：0~6mm（可调）。
R轴粗调角度范围：360°，细调行程范围：±9°。
Y轴快速拖出行程：100mm，便于取放晶圆等样品。
独立真空开关。 |
探针座放置平台 |
Z轴细调行程：40mm，快升：350μm。
最多可放置8个CM50探针座。
兼容磁力或真空吸附的探针座底座。
兼容探针卡应用（须配套探针卡夹具）。 |
显微镜 |
1. 金相显微镜，光学放大倍数：20X~2000X。
2. 可配套数字CCD，用于观察（显示器）、拍照、录像等操作。 |
显微镜基座 |
龙门支撑机构
X-Y移动行程：50mm*50mm，精度：1μm。
Z轴调焦行程：50mm，精度：1μm。
Z轴气动升降行程：50mm。
Z轴手动粗调行程：50mm。 |
常用配件 |
防震台
屏蔽箱
系统整合平台 |
可升级选项 |
1. 高温测试载物台——高温下进行测试。
2. RF测试专用载物台（更多载物台升级请查看配件中载物台详情面页）。
3. 电动控制系统、半自动控制系统。
4. 激光切割系统——对芯片线路进行切割修改。 |
